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攻堅克難 降本增效 | 中欣晶圓12寸450kg投料晶棒完美問世!
2021.08.28

2021年8月17日17點05分是一個激動人心的時刻,中欣晶圓首根12寸450kg投料晶棒完美問世!該晶棒凈重437.7kg,體長2900mm,身長2400mm,良率達到87.6%,相較于之前300kg投料量時的良率提高了4.6個百分點,亦可有效實現降本增效。


中欣晶圓“超重”晶棒的誕生究竟有何優勢?


1. 實現工藝提升

在晶棒拉制過程中,投料越多則對工藝、爐臺控制精度都會有更高的要求。由于32寸石英坩堝一次性最多能裝340kg的多晶硅料,所以投料量增加至450kg必須要采用二次投料技術來實現。自中欣晶圓12寸450kg投料晶棒研發項目成立以來,研發團隊在前期8寸二次投料基礎之上,根據12寸單晶爐結構設計配套使用的二次投料工裝,即石英加料器、加料器小車、法蘭盤等部件。順利完成所有部件組裝后,研發小組在空爐情況下進行試用,并最終成功實現公司第一根12寸450kg投料晶棒的拉制,帶動工藝提升!未來中欣晶圓12寸450kg投料晶棒將會形成標準化量產。


2. 有效提升產量和良率

大質量晶棒的拉制成功使得中欣晶圓月產量得以提升,與此同時,大質量晶棒長度增加提升了單根晶棒的可利用率,有助于提升12寸硅片的良率和穩定性。


3. 實現降本增效

大質量晶棒在直徑相同的情況之下,意味著長度的增加,頭料和尾料相應減少,從而能夠提升晶棒的可利用率,實現降本增效;另一方面投料量增加,使得在使用同樣價格的石英坩堝及輔材的情況下產出增加,節省了石英坩堝和輔材使用量,從而降低成本。

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